Monavista: Российские учёные улучшили микроэлектронику и сэкономили миллионы
Сотрудники Новгородского государственного университета имени Ярослава Мудрого разработали инновационную технологию, позволяющую производить детали для микро- и наноэлектроники с высоким уровнем качества и минимальными затратами.
Технология обеспечивает равномерное нанесение тонких слоёв материала на подложку, что предотвращает образование дефектов, ранее приводивших к значительным потерям продукции и перерасходу сырья.
Ключевым компонентом данной технологии является заслонка с отверстиями специальной формы, предназначенная для установки установки вакуумного напыления УВН 71-ПЗ. Участник проекта Дмитрий Корцов сравнил процесс с изготовлением торта, где подложка представляет собой «кекс», материал для напыления — «сахарную пудру», а заслонка выполняет функцию «трафарета», обеспечивающего равномерное покрытие.
Данная методика позволяет осуществлять точный контроль толщины и распределения слоёв, что значительно снижает процент брака.
Модификация существующего оборудования обошлась существенно дешевле, чем приобретение нового. Стоимость замены установки составляла около 50 миллионов рублей, тогда как модернизация, проведённая специалистами университета, потребовала инвестиций в размере около 15 миллионов рублей.
Дополнительным преимуществом данного подхода является отсутствие необходимости демонтажа станка для установки заслонки, что позволяет сохранить целостность производственного процесса и минимизировать время простоя.
Проект был реализован при финансовой и организационной поддержке Министерства науки и высшего образования Российской Федерации в рамках инициативы «Десятилетие науки и технологий».
Специалисты отмечают, что предложенная методика может быть адаптирована для использования на других предприятиях, оснащённых аналогичными установками. Это позволит повысить качество продукции и снизить производственные издержки. Благодаря данной разработке микро- и наноэлектронная промышленность региона получает эффективный инструмент для повышения эффективности и надёжности производственных процессов, пишет monavista.